Хагас дамжуулагч төхөөрөмж ба цэвэрлэгээний өрөөнд зориулсан 5 тэнхлэгт тээрэмдсэн керамик тусгаарлагч

Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл, цэвэр өрөөний орчинд өндөр эрсдэлтэй ертөнцөд бүрэлдэхүүн хэсэг бүр нь өөгүй гүйцэтгэлийг өгөх ёстой. AtPFT, бид урлах чиглэлээр мэргэшсэн5 тэнхлэгт тээрэмдсэн керамик тусгаарлагчЭнэ нь нарийвчлал, найдвартай байдлыг дахин тодорхойлдог. 20-оос дээш насныхантайОлон жилийн туршлагынхаа ачаар манай шийдлүүд нь хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн эрэлт хэрэгцээг хангаж, дулааны тогтвортой байдал, цахилгаан тусгаарлагч, хэт мэдрэмтгий орчинд бохирдолгүй ажиллах боломжийг олгодог.

Яагаад манай 5 тэнхлэгт тээрэмдсэн керамик тусгаарлагчийг сонгох хэрэгтэй вэ?

1.Үйлдвэрлэлийн дэвшилтэт чадавхи

Манай байгууламж нь тоноглогдсонхамгийн сүүлийн үеийн 5 тэнхлэгтэй CNC тээрэмдэх машинууд, хөнгөн цагааны исэл (Al₂O₃), цахиурын карбид (SiC), хөнгөн цагаан нитрид (AlN) зэрэг дэвшилтэт керамикийг хэлбэржүүлэхэд микроны түвшний нарийвчлалыг бий болгодог. Уламжлалт аргуудаас ялгаатай нь 5 тэнхлэгт боловсруулалт нь нарийн төвөгтэй геометрийг хийх боломжийг олгодог бөгөөд энэ нь өрлөг өргөх зүү, хуримтлуулах камерын эд анги, плазмад тэсвэртэй тусгаарлагч зэрэг бүрэлдэхүүн хэсгүүдэд чухал ач холбогдолтой юм.

Гол онцлогууд:

•Нарийвчлал:ASML литографийн хэрэгсэл эсвэл Lam Research сийлбэрийн системд саадгүй нэгтгэх ±0.005 мм-ийн хүлцэл.
•Материалын олон талт байдал:99.8% хөнгөн цагааны исэл, өндөр цэвэршилттэй SiC болон бусад дэвшилтэт керамик эдлэлд оновчтой.
•Гадаргуугийн өнгөлгөө:ISO 1-р ангиллын цэвэр өрөөнд тоосонцор үүсэхийг багасгахын тулд Ra <0.2μm.

2.Процессын инженерчлэл

Манай инженерүүд хөгжсөнхаалттай хүрд процессын хяналтболовсруулах явцад керамик хэврэгшилд дасан зохицдог. Хуурай тээрэмдэх техникийг бодит цагийн чичиргээ сааруулагчтай хослуулснаар бид хагаралгүй гадаргуу болон эд ангиудын ашиглалтын хугацааг уртасгаж, хэт их дулааны эргэлтэнд (1600 ° C хүртэл) хүрдэг.

Инновацийн анхаарлын төвд:

•Стресс тайлах протоколууд:ЗСӨ-ний хэрэглээнд зориулсан AlN тусгаарлагчийн бичил хугарлыг багасгах.
•Машины боловсруулалтын дараах эмчилгээ:HIP (Hot Isostatic Pressing) нь нягтрал болон зэврэлтэнд тэсвэртэй байдлыг нэмэгдүүлдэг.

3.Чанарын хатуу баталгаа

Тусгаарлагч бүрд ордог12 үе шаттай хяналт шалгалтҮүнд:

•CMM (Координат хэмжих машин)чухал хэмжигдэхүүнүүдийн баталгаажуулалт.
•Гелийн алдагдлыг шалгахвакуум нийцтэй байдлын хувьд.
•EDS (Энерги-дисперсийн рентген спектроскопи)материалын цэвэр байдлыг шалгах.

МанайISO 9001/14001 гэрчилгээтэй системТүүхий эдийн худалдан авалтаас (CoorsTek зэрэг 1-р түвшний ханган нийлүүлэгчдээс авдаг) эцсийн савлагаа хүртэл ул мөрийг баталгаажуулдаг.

Хэрэглээ: Нарийвчлал нь гүйцэтгэлтэй нийцдэг газар

Манай тусгаарлагчид итгэдэг:

•Etch & Deposition Tools:Applied Materials™ модулиудад сийвэнгийн эсэргүүцэл үзүүлэх SiC бүрсэн бүрэлдэхүүн хэсгүүд.
•Ион суулгац:Хөнгөн цагааны өргөх тээглүүр нь вафель гулсахаас сэргийлж, статикийн эсрэг бүрээстэй.
•Хэмжилзүйн системүүд:EUV литографийн үе шатуудад зориулсан бага дулаан тэлэлтийн тусгаарлагч.

Кейс судалгаа:Хагас дамжуулагчийн тэргүүлэгч OEM нь манай тусгай загвартай SiC шүршүүрийн толгойд шилжсэний дараа багажны сул зогсолтыг 40%-иар бууруулсан нь 300 мм-ийн хавтан боловсруулахад өрсөлдөгчдийнхөө эд ангиудыг гүйцэж чадсан юм.

Үйлдвэрлэлээс гадна: Түншлэлийн хандлага

•Шуурхай загварчлал:CAD файлуудаа илгээж, 7 хоногийн дотор функциональ прототипүүдийг хүлээн авна уу.
•Газар дээрх цэвэр өрөөний сав баглаа боодол:Хэрэгслийг шууд нэгтгэх зориулалттай 10-р ангиллын цэвэр өрөөний нэмэлт угсралт.
•Насан туршийн техникийн дэмжлэг:Манай инженерүүд эд ангиудын ашиглалтын хугацааг уртасгахын тулд элэгдлийн шинжилгээ, дахин боловсруулах үйлчилгээ үзүүлдэг.